Передовые плазменные технологии

События
Компания Интек при поддержке специалистов Oxford Instruments Plasma Technology завершили пуско-наладку и технологические испытания установок Plasmalab на площадке лабораторного комплекса ООО «НТЦ ТПТ».
Новая установка PlasmaPro 1000 Astrea для производства LED и HBLED
Новая установка PlasmaPro Estrelas100 глубокого травления кремния позволяет реализовать как Бош процесс, так и процесс криогенного травления.

Технологии

На данной странице представлен список основных типов процессов, реализуемых в установках Oxford Instruments Plasma Technology.

В настоящее время, поддерживается около трехсот стандартных процессов различных типов с набором варьируемых рецептов к ним.

Лаборатория Oxford Instruments Plasma Technology предоставляет постоянную поддержку в модификации технологических рецептов процессов.

Технологии сухого плазменного травления RIE, PE, ICP Etch для приложений микроэлектроники и нанотехнологии.


 



Технологии плазмохимического осаждения PECVD, CVD-ICP.


 

Новости
Oxford Instruments Plasma Technology удваивает поставки оборудования для производства светодиодов.
Компания Oxford Instruments Plasma Technology разработала подложкодержатель для групповой обработки подложек с индивидуальной системой подвода гелия для эффективной стабилизации температуры при травлении.