Передовые плазменные технологии

События
Компания Интек при поддержке специалистов Oxford Instruments Plasma Technology завершили пуско-наладку и технологические испытания установок Plasmalab на площадке лабораторного комплекса ООО «НТЦ ТПТ».
Новая установка PlasmaPro 1000 Astrea для производства LED и HBLED
Новая установка PlasmaPro Estrelas100 глубокого травления кремния позволяет реализовать как Бош процесс, так и процесс криогенного травления.

Кластерная установка Oxford System 100 Pro

Компания Интек при поддержке специалистов Oxford Instruments Plasma Technology завершили пуско-наладку и технологические испытания установок Plasmalab на площадке лабораторного комплекса ООО «НТЦ ТПТ», являющейся аккредитованным Центром Коллективного Пользования (ЦКП) при Технопарке «Сколково» и располагающегося в г. Санкт-Петербург на территории Физико-Технического Института им. А.Ф. Иоффе РАН.

Запущенная в обновленном режиме в эксплуатацию Кластерная установка Oxford System 100 Pro с камерой осаждения атомных слоев (ALD), 4-мя камерами плазмо-химического осаждения PECVD, а также установками магнетронного осаждения Plasmalab 400 и плазмохимического травления Plasmalab 100 ICP полностью настроена на выполнение широкого спектра задач фотовольтаики, оптоэлектронной и микроэлектронной промышленности, решаемых ООО «НТЦ ТПТ» совместно с Технопарком «Сколково» для Участников ИЦ «Сколково» и прочих компаний с 2014 года.

Специалисты обеих компаний ООО «НТЦ ТПТ» и Интек заинтересованы в дальнейших кооперациях и развитии совместных научно-исследовательских работ.

Новости
Oxford Instruments Plasma Technology удваивает поставки оборудования для производства светодиодов.
Компания Oxford Instruments Plasma Technology разработала подложкодержатель для групповой обработки подложек с индивидуальной системой подвода гелия для эффективной стабилизации температуры при травлении.