Передовые плазменные технологии

События
Компания Интек при поддержке специалистов Oxford Instruments Plasma Technology завершили пуско-наладку и технологические испытания установок Plasmalab на площадке лабораторного комплекса ООО «НТЦ ТПТ».
Новая установка PlasmaPro Estrelas100 глубокого травления кремния позволяет реализовать как Бош процесс, так и процесс криогенного травления.

Установка PlasmaPro Estrelas100

Компания Oxford Instruments Plasma Technology анонсировала выпуск новой установки PlasmaPro Estrelas100.

Установка PlasmaPro Estrelas100 предназначена для процессов глубокого травления кремния (Deep Silicon Etch, DSE).

Уникальная конструкция установки позволяет реализовать два наиболее известных метода глубого травления; Бош-процесс и криогенное травление.

Бош - процесс является ключевым технологическим процессом при производстве устройств микромеханики (MEMS). Криогенное травление позволяет получать структуры с высоким аспектным соотношением и предельно малыми размерами, что незаменимо в области нанотехнологи.


Буклет Estrelas на англ. языке

 

Новости
AdTech Photonics выбрала установки PlasmaPro 100 для производства лазерных линеек инфракрасного диапазона
Oxford Instruments Plasma Technology выполняет поставку своих установок для производителя вертикально излучающих лазеров Sino-semic