Передовые плазменные технологии

События
Компания Интек при поддержке специалистов Oxford Instruments Plasma Technology завершили пуско-наладку и технологические испытания установок Plasmalab на площадке лабораторного комплекса ООО «НТЦ ТПТ».
Новая установка PlasmaPro 1000 Astrea для производства LED и HBLED
Новая установка PlasmaPro Estrelas100 глубокого травления кремния позволяет реализовать как Бош процесс, так и процесс криогенного травления.

Установка PlasmaPro Estrelas100

Компания Oxford Instruments Plasma Technology анонсировала выпуск новой установки PlasmaPro Estrelas100.

Установка PlasmaPro Estrelas100 предназначена для процессов глубокого травления кремния (Deep Silicon Etch, DSE).

Уникальная конструкция установки позволяет реализовать два наиболее известных метода глубого травления; Бош-процесс и криогенное травление.

Бош - процесс является ключевым технологическим процессом при производстве устройств микромеханики (MEMS). Криогенное травление позволяет получать структуры с высоким аспектным соотношением и предельно малыми размерами, что незаменимо в области нанотехнологи.


Буклет Estrelas на англ. языке

 

Новости
Oxford Instruments Plasma Technology удваивает поставки оборудования для производства светодиодов.
Компания Oxford Instruments Plasma Technology разработала подложкодержатель для групповой обработки подложек с индивидуальной системой подвода гелия для эффективной стабилизации температуры при травлении.