Передовые плазменные технологии

События
Компания Интек при поддержке специалистов Oxford Instruments Plasma Technology завершили пуско-наладку и технологические испытания установок Plasmalab на площадке лабораторного комплекса ООО «НТЦ ТПТ».
Новая установка PlasmaPro 1000 Astrea для производства LED и HBLED
Новая установка PlasmaPro Estrelas100 глубокого травления кремния позволяет реализовать как Бош процесс, так и процесс криогенного травления.

Оборудование для производства LED и HBLED

Oxford Instruments Plasma Technology удваивает поставки оборудования для производства светодиодов.

За последние 12 месяцев удвоился портфель заказов OPT на поставку оборудования для производства светодиодов. Основные заказчики по данным контрактам - производственные предприятия Азиатского региона.

OPT выпускает установки для пост-процессинговой обработки подложек и формирования чипов:

Plasmalab 800 plus PECVD и Plasmalab 133 PECVD предназначены для осаждения SiO2 для формирования маски и Si3N4 в качестве пассивирующего покрытия.

Plasmalab 133 ICP 380 предназначена для травления сапфира, GaN, AlGaInP. 

Пресс-релиз на англ. языке

Буклет по системам для производства LED

Новости
Oxford Instruments Plasma Technology удваивает поставки оборудования для производства светодиодов.
Компания Oxford Instruments Plasma Technology разработала подложкодержатель для групповой обработки подложек с индивидуальной системой подвода гелия для эффективной стабилизации температуры при травлении.