Передовые плазменные технологии

События
Компания Интек при поддержке специалистов Oxford Instruments Plasma Technology завершили пуско-наладку и технологические испытания установок Plasmalab на площадке лабораторного комплекса ООО «НТЦ ТПТ».
Новая установка PlasmaPro Estrelas100 глубокого травления кремния позволяет реализовать как Бош процесс, так и процесс криогенного травления.

Семинар по технологиям Oxford Instruments Plasma Technology

Компания Oxford Instruments Plasma Technology и Университет Freiburg/ IMTEK проводят семинар по технологиям плазмохимического травления и осаждения.

Время проведения: 27-28 сентября 2010 г.

В программе семинара доклады технологов лаборатории Oxford Instruments Plasma Technology:

1. Использование SIMS диагностики в процессах ионно-лучевого травления.

2. Обзор источников плазмы.

3. Процессы ICP-PECVD в технологиях солнечных элементов на гетероструктурах.

4. Особенности проведения процессов очистки камеры установки PECVD.

5. "Подводные камни" технологии ALD.

6. Обзор процессов травления кремния.

7. Обзор процессов ALD.

8. Определение момента окончания травления в плазмохимических установках.

9. Роль напряжения смещения в технологиях сухого травления. 

Участие в семинаре бесплатное (за исключением питания).

Организаторы оказывают помощь в получении визы и размещении в отеле.

По всем вопросам участия можно обращаться konstantin.orlov@intech-group.ru 

Новости
AdTech Photonics выбрала установки PlasmaPro 100 для производства лазерных линеек инфракрасного диапазона
Oxford Instruments Plasma Technology выполняет поставку своих установок для производителя вертикально излучающих лазеров Sino-semic