Передовые плазменные технологии

События
Компания Интек при поддержке специалистов Oxford Instruments Plasma Technology завершили пуско-наладку и технологические испытания установок Plasmalab на площадке лабораторного комплекса ООО «НТЦ ТПТ».
Новая установка PlasmaPro Estrelas100 глубокого травления кремния позволяет реализовать как Бош процесс, так и процесс криогенного травления.

Process News Jan 2009

В выпуске:

  • Oxford Instruments отмечает свое 50-ти летие
  • получение пассивирующих покрытий Al2O3 методом ALD для солнечных элементов
  • исследование истинной температуры подложки при травлении RIE и ICP Etch
  • данные на новую установку HVPE
  • преодоление подтрава маски в процессах криогенного травления кремния
  • снижение эксплуатационных расходов на оборудование линейки производства HBLED
  • новые заказы для Oxford Instruments Plasma Technology

Полный текст новостей (англ.)

Новости
AdTech Photonics выбрала установки PlasmaPro 100 для производства лазерных линеек инфракрасного диапазона
Oxford Instruments Plasma Technology выполняет поставку своих установок для производителя вертикально излучающих лазеров Sino-semic