Передовые плазменные технологии

События
Компания Интек при поддержке специалистов Oxford Instruments Plasma Technology завершили пуско-наладку и технологические испытания установок Plasmalab на площадке лабораторного комплекса ООО «НТЦ ТПТ».
Новая установка PlasmaPro Estrelas100 глубокого травления кремния позволяет реализовать как Бош процесс, так и процесс криогенного травления.

Новая линейка кластерных установок для организации производства

Новая серия систем System 100 Pro предназначена для организации производственных процессов на подложках 200 и 300 мм с возможностью кассетной загрузки и эффективной интеграции в «чистые помещения».

Серия System 100 Pro позволяет конфигурировать различные технологические модули в кластерную систему для эффективной организации процесса обработки с наибольшей производительностью.

Серия System 100 Pro может включать высоконадежные технологические модули:

  • Plasmalab® для плазменного травления и осаждения PECVD и PVD
  • FlexAL® для атомно-слоевого осаждения ALD
  • Ionfab® для инно-лучевого травления и осаждения
  • Nanofab для направленного роста нанотрубок и нанопроводов

Буклет на английском языке (формат .pdf, 1598 Kb)

Новости
AdTech Photonics выбрала установки PlasmaPro 100 для производства лазерных линеек инфракрасного диапазона
Oxford Instruments Plasma Technology выполняет поставку своих установок для производителя вертикально излучающих лазеров Sino-semic