Передовые плазменные технологии

События
Компания Интек при поддержке специалистов Oxford Instruments Plasma Technology завершили пуско-наладку и технологические испытания установок Plasmalab на площадке лабораторного комплекса ООО «НТЦ ТПТ».
Новая установка PlasmaPro Estrelas100 глубокого травления кремния позволяет реализовать как Бош процесс, так и процесс криогенного травления.

System 100 Pro

Серия System 100 Pro позволяет конфигурировать различные технологические модули в кластерную систему для эффективной организации процесса обработки с наибольшей производительностью.

Кластер может быть организован на базе перегрузочного модуля на 4 или 6 позиции рабочих устройств. По выбору заказчика загрузка в кластер может осуществляться как из кассетной станции, так и в виде индивидуальных подложек.

Серия System 100 Pro может включать технологические модули производства Oxford Instruments Plasma Technology а также модули сторонних производителей, совместимые по стандарту MESC. Управление кластером осуществляется с единого рабочего места оператора через программный интерфейс PC2000.

В кластер могут объединяться следующие системы:

  • PlasmaPro System 100 и PlasmaPro System 133 для плазменного травления и осаждения
  • PlasmaPro System 400 для магнетронного осаждения
  • FlexAL для атомно-слоевого осаждения
  • Ionfab для инно-лучевого травления и осаждения
  • Nanofab для направленного роста нанотрубок и нанопроводов

Дополнительные сведения

Буклет на англ. языке

Буклет по оборудованию на рус. языке

Размеры и инсталляционные данные

Инсталляционные данные на кластерные системы
Требования к внешним подключениям модулей перегрузки подложек

Новости
AdTech Photonics выбрала установки PlasmaPro 100 для производства лазерных линеек инфракрасного диапазона
Oxford Instruments Plasma Technology выполняет поставку своих установок для производителя вертикально излучающих лазеров Sino-semic