Передовые плазменные технологии

События
Компания Интек при поддержке специалистов Oxford Instruments Plasma Technology завершили пуско-наладку и технологические испытания установок Plasmalab на площадке лабораторного комплекса ООО «НТЦ ТПТ».
Новая установка PlasmaPro 1000 Astrea для производства LED и HBLED
Новая установка PlasmaPro Estrelas100 глубокого травления кремния позволяет реализовать как Бош процесс, так и процесс криогенного травления.

PlasmaPro 1000 Astrea

Системы со шлюзовой групповой загрузкой. Спроектированы для высокопроизводительного плазменного травления на пластинах диаметром 50-200 мм в производстве LED и HBLED.

Установки предназначены для высокопроизводительного травления сапфира, GaN, AlGaInP и подобных материалов в производстве светодиодов (LED и HBLED).

Новый источник плазмы потенциально обеспечивает однородное травление на диаметрах до 690 мм. Электрод диаметром 490 мм оснащен вертикальным приводом для изменения межэлектродного расстояния. Установка оснащена двумя системами распределения рабочего газа для обеспечения максимальной однородности процесса.

Подача карьера в камеру осуществляется через вакуумный шлюз с ручной загрузкой. Основной модуль установки полностью совместим по стандарту MESC. Модули PlasmaPro 1000 Astrelas могут комбинироваться в кластерные системы для увеличения производительности или выполнения последовательных технологических операций травления и осаждения.

Система обеспечивает групповую обработку подложек диаметром 50-200 мм загружаемых в камеру на карьере.

размер подложки

максимальная загрузка

50 мм/ 2"

55 шт

100 мм/ 4"

14 шт

150 мм/ 6"

7 шт

200 мм/ 8"

3 шт

Дополнительные сведения

Пресс-релиз на англ. языке

Буклет по оборудованию на рус. языке

Новости
Oxford Instruments Plasma Technology удваивает поставки оборудования для производства светодиодов.
Компания Oxford Instruments Plasma Technology разработала подложкодержатель для групповой обработки подложек с индивидуальной системой подвода гелия для эффективной стабилизации температуры при травлении.