Передовые плазменные технологии

События
Компания Интек при поддержке специалистов Oxford Instruments Plasma Technology завершили пуско-наладку и технологические испытания установок Plasmalab на площадке лабораторного комплекса ООО «НТЦ ТПТ».
Новая установка PlasmaPro Estrelas100 глубокого травления кремния позволяет реализовать как Бош процесс, так и процесс криогенного травления.

Серия PlasmaPro

Гибкие и функциональные установки для исследовательских работ, решения задач опытно-конструкторских разработок и производства.

До 2010 года данная серия была представлена установками с торговой маркой PlasmaLab

Малогабаритные системы с открытой загрузкой образцов для проведения процессов плазмохимического травления и осаждения в исследовательских, опытно-конструкторских работах и мелкосерийном производстве. Обрабатывают пластины до 200 мм.


Системы с открытой загрузкой образцов для проведения процессов плазмохимического травления и осаждения в опытно-конструкторских работах и мелкосерийном производстве. Обрабатывают пластины до 300 мм или партии подложек меньшего размера.


Системы со шлюзовой загрузкой подложек. Решают широкий круг задач плазменного травления и осаждения. Обрабатывают пластины до 200 мм.




Системы со шлюзовой загрузкой подложек. Спроектированы для проведения процессов плазменного травления и осаждения на пластинах диаметром до 450 мм и крупных партиях пластин меньшего диаметра. В настоящее время данные системы широко используются в качестве высокопроизводительного оборудования в производстве LED и HBLED.


Системы со шлюзовой загрузкой подложек. Спроектированы для проведения процессов глубокого травления кремния. Реализуют Бош-процесс и процесс криогенного травления. Обрабатывают подложки от 50 мм до 200 мм.


Новости
AdTech Photonics выбрала установки PlasmaPro 100 для производства лазерных линеек инфракрасного диапазона
Oxford Instruments Plasma Technology выполняет поставку своих установок для производителя вертикально излучающих лазеров Sino-semic