Передовые плазменные технологии

События
Компания Интек при поддержке специалистов Oxford Instruments Plasma Technology завершили пуско-наладку и технологические испытания установок Plasmalab на площадке лабораторного комплекса ООО «НТЦ ТПТ».
Новая установка PlasmaPro Estrelas100 глубокого травления кремния позволяет реализовать как Бош процесс, так и процесс криогенного травления.

Системы атомно слоевого осаждения (ALD)

Гибкие и функциональные установки атомно слоевого осаждения (Atomic Layer Deposition или ALD) с возможностью проведения процессов плазменно стимулированного осаждения (Remote Plasma ALD).

Семейство шлюзовых систем FlexAL  предоставляет новые возможности в разработке наноразмерных структур и приборов.  FlexAL реализует процессы  атомно-слоевого осаждения с удаленной плазмой и термическое ALD в максимально гибкой конфигурации. Обрабатывают пластины до 200 мм.


 

Новости
AdTech Photonics выбрала установки PlasmaPro 100 для производства лазерных линеек инфракрасного диапазона
Oxford Instruments Plasma Technology выполняет поставку своих установок для производителя вертикально излучающих лазеров Sino-semic