Передовые плазменные технологии

События
Компания Интек при поддержке специалистов Oxford Instruments Plasma Technology завершили пуско-наладку и технологические испытания установок Plasmalab на площадке лабораторного комплекса ООО «НТЦ ТПТ».
Новая установка PlasmaPro 1000 Astrea для производства LED и HBLED
Новая установка PlasmaPro Estrelas100 глубокого травления кремния позволяет реализовать как Бош процесс, так и процесс криогенного травления.

Оборудование

На данной странице представлен список основных классов исследовательских и технологических установок Oxford Instruments Plasma Technology и MEMS Star.

Серия PlasmaPro - гибкая платформа для решения исследовательских и производственных задач микроэлектроники. Установки конфигурируются для проведения процессов плазменно-стимулированного осаждения или плазмохимического травления.

Атомно-слоевое осаждение (ALD) это современная техника прецизионного осаждения ультратонких слоев с конформным покрытием рельефа для приложений субмикронной технологии и передовых исследований в области наноразмерных структур.


Осаждение с магнетронным распылением мишени является одним из стандартных вариантов PVD для микроэлектронных технологий. Позволяет получать слои широкого спектра материалов от металлов до диэлектриков с контролируемой стехиометрией.


Системы Nanofab позволяют выращивать нанотрубки и нанопровода в контролируемых процессах с высокой скоростью роста. Наноструктуры выращиваются в местах каталитической активации поверхности подложки.



Ионно-лучевые системы Ionfab позволяют реализовать как технологии ионно-лучевого травления так и технологии вакуумного осаждения с распылением мишени ионным пучком. Серия Ionfab находит применение в широком спектре приложений микроэлектроники, оптики, нанотехнологии и биомеханики.


Новая серия систем System 100 Pro предназначена для организации производственных процессов на подложках 200 и 300 мм с возможностью кассетной загрузки и эффективной интеграции в «чистые помещения».


Установки сухого изотропного травления и сухого осаждения компании Mems Star выполняют операции травления жертвенных слоев и осаждения антифрикционных покрытий в производстве MEMS. Установки предназначены для индивидуальной или кассетной обработки подложек диаметром 50-200 мм.


Новости
Oxford Instruments Plasma Technology удваивает поставки оборудования для производства светодиодов.
Компания Oxford Instruments Plasma Technology разработала подложкодержатель для групповой обработки подложек с индивидуальной системой подвода гелия для эффективной стабилизации температуры при травлении.