Передовые плазменные технологии

События
Компания Интек при поддержке специалистов Oxford Instruments Plasma Technology завершили пуско-наладку и технологические испытания установок Plasmalab на площадке лабораторного комплекса ООО «НТЦ ТПТ».
Новая установка PlasmaPro 1000 Astrea для производства LED и HBLED
Новая установка PlasmaPro Estrelas100 глубокого травления кремния позволяет реализовать как Бош процесс, так и процесс криогенного травления.

Oxford Instruments Plasma Technology

Компания Oxford Instruments Plasma Technology (OPT) является одним из ведущих поставщиков оборудования и современных технологических процессов для травления и осаждения микро и нано структур. Предлагаемое оборудование реализует операции микронной и субмикронной технологии для производства и исследований в области полупроводников, оптоэлектроники, микромеханики, прецизионной оптики и нанотехнологии.

Системы Oxford Plasma реализуют процессы плазмохимического травления (RIE, PE) и осаждения (PECVD), атомно-слоевого осаждения (ALD), ионно-пучкового травления (IBE, CAIBE) и осаждения (IBD). Широкий спектр модификаций систем Oxford Plasma позволяет заказать конфигурации от лабораторной установки до производственного кластера с перегрузкой подложек из кассеты в кассету.

В Oxford Instruments Plasma Technology работает собственная лаборатория, которая обеспечена полным парком технологических установок Oxford Plasma и современным измерительным и контрольным оборудованием. Лаборатория осуществляет технологическую поддержку клиентов в течение всего срока эксплуатации оборудования Oxford Instruments Plasma Technology.

История

Компания Oxford Instruments основана в 1959г и размещается в г. Оксфорд (Великобритания).

Компания Plasma Technology основана в 1980г и присоединилась к Oxford Instruments в 1987г.

Компания Oxford Instruments Plasma Technology формируется в качестве самостоятельного подразделения Oxford Instruments в 1994 г, и организует обособленное производство в г. Яттон (Великобритания).

С 2005 г. компания Oxford Instruments Plasma Technology сотрудничает с компанией Интек Аналитика для осуществления продаж и технической поддержки оборудования в России.

В 2008 году компания Oxford Instruments приобретает компанию Technologies and Devices International (TDI) и разрабатывает новые установки для хлоридно-гидридной газофазной эпитаксии (HVPE).

Факты

Штаб-квартира и производство Oxford Instruments Plasma Technology расположены в г. Яттон (Великобритания)

В компании Oxford Instruments Plasma Technology работает около 150 высококвалифицированных сотрудников по всему миру

Оборудование, выпускаемое Oxford Instruments Plasma Technology соответствует требованиям TQM с 1993г. и стандарту ISO 9001 с 1996г.

В г. Яттон расположена собственная лаборатория по отладке технологических процессов с постоянно работающим штатом инженеров и действующими системами серий Plasmalab различных конфигурации (всего - 12 систем). Лаборатория оснащена полным набором современных средств измерений для контроля результатов обработки образцов.

Лаборатория Oxford Instruments Plasma Technology проводит бесплатную обработку образцов потенциальных заказчиков.

Oxford Instruments Plasma Technology осуществляет бесплатную технологическую поддержку своих клиентов на протяжении всего срока эксплуатации оборудования.

В настоящий момент в мире работает более 2.500 систем Plasmalab, в том числе в компаниях Philips, Osram, Alcatel, Siemens, IBM, Du Pont, Intel, Infineon и др.

Новости
Oxford Instruments Plasma Technology удваивает поставки оборудования для производства светодиодов.
Компания Oxford Instruments Plasma Technology разработала подложкодержатель для групповой обработки подложек с индивидуальной системой подвода гелия для эффективной стабилизации температуры при травлении.